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Air bearing stage
上銀空氣軸承定位平臺
針對先端半導體與面板制程設備所開發之奈米空氣軸承定位平臺。領先同業采用新型真空預壓低耗能氣浮軸承、動態反作用力平衡與慣性補償技術，可于千分之一秒內達到奈米誤差內要求，大幅減少運動整定時間與組件磨耗率，提升設備生產力與可靠性。完整智能化遠程系統偵測與全球客服支持提供，幫助客戶大幅縮短設備開發時程，節省許多整合時間與成本，使其更聚焦本身關鍵制程Know-how。