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封閉式位置量測(cè)系統(tǒng)
   最高解析度：1μm
   具原點(diǎn)訊號(hào)
   環(huán)境耐受性佳，不受油、水、切削影響


應(yīng)用：
    1.工具機(jī)產(chǎn)業(yè)
    2.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
    3.太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)
    4.PCB產(chǎn)業(yè)
    5.自動(dòng)化產(chǎn)業(yè)等