詳細說明
LMX2E系列直線電機特征：
直線度可達10um
X軸最大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構之定位平臺
良好接地設計防止噪聲干擾
Z向震動可達奈米等級以下
最大速度可達5m/s
標準重現精度1um或以下
位置回饋系統分辨率最低可達50nm
LMX2E系列直線電機應用：
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能制造設備
PCB設備
水刀設備
鉆石切割產業
AOI檢測設備
工具機
吳女士 18825529049
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